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研磨设备

DFG860

时间:2021.10.14    浏览705次
DFG860

DISCO DFG860晶圆超薄研磨设备,3盘可旋转设计,精度高,稳定性好,效率高。适用于12寸晶圆背部研磨减薄。

生产日期:2004年

额定功率:AC200V,50/60HZ,21KWV

压缩空气:0.5Mpa   350L/mi

研削水:  0.2Mpa   25L/min

l冷却水: 0.2Mpa   9L/min

重量:     5000KG